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第66章双工件台(第1/2页)
凌晨一点，星辰光刻总装车间。
那台已经立起骨架的EUV光刻机样机，安静地矗立在防震地基上。工件台在真空腔里缓缓移动，发出极轻的嗡鸣。
王磊盯着屏幕上跳动的数据，脸色越来越沉。
“第43次联调，开始。“
“工件台Y轴移动，误差——3.18纳米。“
“X轴，误差——3.24纳米。“
“未达标。要求精度：0.5纳米。“
机械的女声，在车间里回荡。
王磊摘下耳机，一拳砸在操作台上：“差一个数量级！怎么调都压不下去！“
桌角的咖啡杯被震得跳了一下，洒出几滴褐色的液体。车间里，几个工程师面面相觑，谁都没敢接话。
“老陈，“王磊抬起头，眼底全是血丝，“这已经是第43次了。再这么调下去，三十天的联调计划，全得泡汤。“
陈博士叹了口气，正要开口，苏宇的声音先一步响起：“把数据打出来，我看看。“
苏宇站在他身后，盯着那组数据，沉默了很久。
“问题出在哪？“他问。
“测量基准。“陈博士走过来，推了推眼镜，“工件台的对准精度，取决于测量基准的稳定性。我们的基准台，热膨胀系数超标——温度波动零点一度，误差就放大一倍。“
“国外那几家能做高精度基准台的公司，“王磊接过话头，声音发苦，“全在芯片联盟的封锁名单里。艾斯摩尔当年造工件台，用了德国顶级精机厂的部件。我们——买不到。“
“买不到就造。“苏宇说。
“造不了。“陈博士摇头，“这东西，难的不是图纸，是加工精度。国内能加工这种等级零件的小厂，屈指可数。而且基准台的材料，本身就是个世界级难题。“
苏宇没有说话，只是走到工件台前，蹲下身，看着那台精密机器的底座。
芯片联盟的封锁，一环扣一环。
光源，他们断零部件。
材料，他们断原材料。
现在，连一台测量基准台，他们都不肯给。
“陈博士，基准台的技术路线，你今晚给我一份可行性报告。“苏宇站起身，“国内找不到的，我们就找国内最好的脑子。“
回到办公室，天已经蒙蒙亮。
苏宇靠在椅背上，揉了揉眉心，意识沉入系统图纸库，检索“高精度测量基准台“。
【检索结果：超高精度测量基准台技术图纸——存在。核心难点：低热膨胀材料与纳米级平面加工，国内供应链部分覆盖，需精密仪器领域专家协同。】
精密仪器……
苏宇睁开眼，正要给陈院士打电话，手机却先一步亮了。是夏若雪发来的消息，只有一句：“还在公司？“
苏宇回了一个“嗯“。
三分钟后，办公室的门被轻轻推开。夏若雪端着一碗热粥走进来，白裙上还沾着一点墨迹——她大概也是在实验室里熬了夜。
“听说工件台卡住了。“她把粥放在桌上，轻声说，“你两天没回家了。“
苏宇端起粥，喝了一口，忽然问：“若雪，你这两天，是不是也一直在实验室里泡着？“
“嗯。“夏若雪下意识地擦了擦袖口上那点墨迹，“清源那边，有个水质监测的项目，正好到关键阶段。“
“熬夜了？“
“还好。“她笑了笑，“倒是你——工件台的事，别太熬。身体要紧。“
苏宇放下粥，伸手替她理了理鬓角散落的一缕发丝：“等我忙完这阵，带你出去走走。“
夏若雪耳朵一红，轻轻“嗯“了一声。
“嗯。“苏宇没有否认，“难点在测量基准。进口的被封锁，国内又找不到能造的厂。“
“测量基准……“夏若雪若有所思，忽然说，“我导师，以前跟我提过一个地方。“
“什么地方？“
“国家精密仪器研究院。“夏若雪说，“那里有位何院士，专攻纳米级精密测量。他年轻时，主持过龙国第一台光刻机的预研——虽然那台机器没造出来，但他的团队，手里有全套的基准台设计方案。“
苏宇的呼吸，微微一窒。
“你认识何院士？“
“我导师是他当年的学生。“夏若雪说，“其实昨晚，我已经给我导师打过电话了。何院士一听说是造EUV光刻机，当场就说，要买票来魔都看看。“
苏宇看着她，忽然有些发怔。
这个平日里安安静静的姑娘，在他最需要的时候，总能从兜里掏出一张他想不到的牌。
而且，她早就替他想到前面去了。
“若雪，“他认真地说，“这次，又要欠你一个人情了。“
“什么人情。“夏若雪弯了弯嘴角，“你的事，不就是我的事吗？“
她顿了顿，又补了一句：“粥，趁热喝。凉了伤胃。“
第二天下午，京城来的高铁，准时停靠在魔都站。
何院士今年六十七岁，头发花白，精神矍铄。他一下车，目光就锁定了苏宇，上下打量了一番，忽然笑了。
“小苏是吧？“他拍了拍苏宇的肩膀，“若雪那丫头给我打电话，说你这边在造EUV光刻机。我一开始还不信——现在看你这架势，是真要干啊。“
“何院士，“苏宇郑重道，“工件台测量基准的事，拜托您了。“
“走，先看光源。“何院士摆摆手，“别的不用多说。你们若雪那孩子，很少求人。她开口，我老头子，一定尽力。“
何院士在总装车间里，整整转了一上午。
（本章未完，请点击下一页继续阅读）第66章双工件台(第2/2页)
他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光，何院士盯着那束紫外光，沉默了很久，才说了一句：“这束光，我等了二十年。“
他又看了光学镜组的预装结构，用手轻轻拂过镜架，像是在抚摸一件失而复得的宝贝。
“老陈那套镜组设计，我认识。“他说，“当年在硅谷，他就说过，总有一天要回来，造龙国自己的光刻机。“
最后，他才停在工件台前，围着它走了三圈。
“有意思。“他摘下眼镜，擦了擦，又重新戴上，“这个结构，是借鉴了艾斯摩尔的方案，但又改了不少。你们这套设计，底子不差。“
“问题，出在基准台上。“他指着工件台的底座，“这个材料，热膨胀系数3.8×10。做普通机床，够用。做纳米级对准——差了两个数量级。“
“何院士，有解吗？“王磊急切地问。
“解，有。“何院士慢条斯理地说，“我们研究院，存着一套二十年前的方案——低热膨胀合金基准台。当年是为了国家光刻机项目备的料，项目停了，方案也封存了。“
“封存了？“
“封存了。“何院士笑了笑，“但图纸，还在。“
他转身，从随身的公文包里，小心翼翼地掏出一个牛皮纸档案袋。
“这套方案，封存了二十年。“何院士把档案袋放在桌上，“今天，算是我把它，交到对的人手里了。“
当晚，星辰光刻总装车间，灯火通明。
何院士带来的团队，连夜把封存的基准台方案，与苏宇的系统图纸进行比对、整合。
“何院士，您看这里——“王磊指着图纸上的一处结构，“这个补偿算法，我们能不能跟这个材料的热膨胀曲线做耦合？“
“可以。“何院士眼睛一亮，“你小子，有想法！“
“还有这里……“
一老一少，就着一张图纸，聊得越来越投入。苏宇站在一旁，看着何院士眼里那束光，忽然有些出神。
这位老人，等这台光刻机，怕是等了二十年。
凌晨三点，王磊的声音从对讲机里传来，带着难以抑制的激动：“苏总！基准台换装完成！重新联调！“
“开始！“
“工件台Y轴移动，误差——1.47纳米。“
“X轴，误差——1.52纳米。“
“精度，提升了一倍！“
车间里，一片欢腾。陈博士激动得连说了三个“好“。何院士站在工件台旁，看着那组数据，眼眶微微泛红。
“二十年……“他喃喃道，“这台机器，终于有人把它，接着造下去了。“
他转过头，看着苏宇，忽然郑重地说了一句：“小苏，我老头子没什么能给你的。就一句话——只要这台机器需要我，我何某人的这把老骨头，随叫随到。“
苏宇心头一热：“何院士，星辰光刻，永远是您的家。“
何院士摆了摆手，目光却还黏在那台样机上，低声说：“能看着它立起来……我这辈子，值了。“
苏宇看着那组数据，却没有松懈。
“何院士，1.5纳米，离目标还差三倍。“他说。
“我知道。“何院士点了点头，“剩下的，靠两样东西——补偿算法，和这颗轴。“他指了指工件台的驱动轴，“算法，我们研究院有现成的。轴，就看你们王总的软件团队，能写多细了。“
“那明天，继续。“苏宇说，“一天，一纳米。“
1.5纳米，离0.5纳米，还有三倍的距离。
“继续。“他说，“何院士的方案，还能往深里挖。今晚，我要看到1纳米以内。“
“收到！“
苏宇刚放下对讲机，手机就响了。是助理，声音带着一丝慌乱。
“苏总！出事了！“
“说。“
“刚刚……台积光电发布全球公告——“助理的声音有些发紧，“宣布从即日起，暂停为龙国所有芯片设计公司提供代工服务！“
苏宇的眼神，骤然一冷。
“国内那几家芯片设计公司……“助理的声音都在发抖，“全都慌了！他们找不到代工厂，订单全要烂在手里！有些小公司，可能撑不过这个月！“
车间里，欢呼声还在继续。
苏宇站在窗边，看着窗外沉沉的夜色，眼底的寒意，一点点漫上来。
“台积光电……“他缓缓重复了一遍这个名字，“真以为，断掉代工，就能掐死龙国的芯片？“
他转过身，目光扫过那台正在重新联调的光刻机样机，忽然笑了一下。
消息传到星抖，热搜瞬间爆了。
“台积光电断供代工？他们疯了？！“
“龙国几十家芯片设计公司，全要被卡死！“
“完了完了，国产芯片要全军覆没了……“
恐慌情绪，一夜之间席卷全网。
而在星辰总部，苏宇看着手机上那一条条哀嚎的热搜，神色平静。
他拨通了张启明的电话：“启明，明天上午，通知国内所有芯片设计公司——冰芯，开放产能接单。“
“明天？“张启明愣了一下，“苏总，冰芯的量子芯片产线，刚跑通……“
“我知道。“苏宇说，“所以明天，才是最好的时机。“
“他们越是恐慌，我们就越要站出去。“
电话那头，张启明沉默了两秒，声音透出笑意：“好啊。“
“那就让他们看看——龙国，到底是谁说了算。“